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Cn

IPM半导体中度严苛系列

用途:

Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant


特点:

绿色制造、全新系列干式真空泵

体积小、耗功低、大幅度降低成本

用于中度严苛制程的节能泵


规格参数
产品样本和技术手册

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产品样本和技术手册

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